ہائی-پیوریٹی آئسوسٹیٹک پریشر گریفائٹ گائیڈنگ رِنگز ڈائریکٹ پلنگ (CZ) سنگل کرسٹل سلیکون فرنس کے تھرمل فیلڈ سسٹم کے بنیادی فنکشنل اجزاء ہیں۔ وہ 4N/5N ہائی-پیوریٹی آئسوسٹیٹک پریشر مصنوعی گریفائٹ سے قطعی طور پر تیار کیے جاتے ہیں اور بنیادی طور پر گریفائٹ کروسیبل کے اوپر، گائیڈ ٹیوب کے اندرونی اور بیرونی اطراف، اور کرسٹل کھینچنے والے چینل کے ارد گرد نصب ہوتے ہیں۔
یہ سازوسامان 1400 سے 1600 ڈگری سیلسیس کے درجہ حرارت پر آرگن گیس کے غیر فعال ماحول کے ساتھ ویکیوم ماحول میں طویل عرصے تک کام کرتا ہے۔ اس کے بنیادی کاموں میں گیس کے بہاؤ کی رہنمائی، تھرمل فیلڈ کو روکنا، کرسٹل راڈ کو پوزیشن میں رکھنا، سلکان کے بخارات کے چھڑکاؤ کو روکنا، اور ناپاکی کی آلودگی کو روکنا شامل ہیں۔
تنصیب کا مقام اور ساختی شکل
عام تنصیب کا مقام
یہ سنگل کرسٹل فرنس کے تھرمل فیلڈ کے اوپری حصے میں، پگھلے ہوئے سلیکون مائع کی سطح اور اوپری موصلیت کا احاطہ کے درمیان، بیج کرسٹل راڈ اور بڑھتی ہوئی سنگل کرسٹل سلکان راڈ کے ارد گرد رکھا جاتا ہے۔ کچھ ماڈلز کو فلو گائیڈ ٹیوب کے ساتھ جوڑا جاتا ہے۔
مرکزی ڈھانچہ
مجموعی طور پر رنگ-شکل کا ڈھانچہ، انٹیگرل رنگ کی قسم میں تقسیم، علیحدہ امتزاج کی قسم، سٹیپ پوزیشننگ کی قسم، اور ملٹی-ہول ایئر فلو گائیڈنگ ٹائپ؛ 12-28 انچ کی فرنس کی مختلف اقسام کے مطابق، یہ بڑے قطر، پتلی-دیواروں، اور خصوصی شکل کے پوزیشننگ گرووز اور دیگر ڈھانچے پر کارروائی کر سکتی ہے، جس میں پروسیسنگ رواداری ±0.01 ملی میٹر تک پہنچ جاتی ہے۔
کارکردگی چھلانگ صحت سے متعلق اور استحکام
ہوا کے بہاؤ کی رہنمائی: فرنس میں آرگن گیس کے تحفظ کے بہاؤ کی سمت کو منظم کریں تاکہ گیس کو پہلے سے طے شدہ راستے کے ساتھ گردش کرنے کے لیے، سلیکون مائع کی سطح سے بخارات اور حرارت کے نشانات کو ہٹا کر، اور بھٹی کے اندرونی ماحول کو مستحکم کریں۔
تھرمل فیلڈ کی قید: گریفائٹ کی بہترین تھرمل موصلیت اور تھرمل چالکتا خصوصیات کا استعمال کرتے ہوئے، ریڈیل درجہ حرارت کے میدان کو محدود کریں، فرنس کے اندر درجہ حرارت کے فرق کو کم کریں، اور کرسٹل راڈ کو غیر معمولی مقامی درجہ حرارت کے فرق کی وجہ سے نقل مکانی اور دراڑیں پیدا ہونے سے روکیں۔
مکینیکل حد کی رہنمائی: کرسٹل راڈ کو جھولنے یا جھکنے سے روکنے کے لیے کھینچنے کے دوران سنگل کرسٹل سلیکون راڈ کے لیے ریڈیل پوزیشننگ فراہم کریں، اس بات کو یقینی بنائیں کہ کرسٹل راڈ عمودی اور سماکشی طور پر بڑھے، اور پیداواری نقائص جیسے ٹوٹنے اور ٹیڑھی سلاخوں کو کم کریں۔
بنیادی کام کرنے کا اصول
بیریئر پروٹیکشن: کرسٹل راڈ، فرنس باڈی کے اوپری موصلیت کے حصوں، اور آپٹیکل آبزرویشن ونڈو سے ان کے منسلک ہونے سے گریز کرتے ہوئے، کرسٹل کھینچنے کے مسلسل اور مستحکم عمل کو یقینی بناتے ہوئے، اعلی درجہ حرارت کے سلیکون بخارات اور کاربن پاؤڈر کے اوپر کی طرف چھڑکنے کو روکیں۔
صاف تحفظ: اعلی-پاکیزگی کا سبسٹریٹ نقصان دہ نجاست کو خارج نہیں کرتا ہے، دھات اور راکھ کی نجاست کو شروع سے ہی سلکان میلٹ اور کرسٹل راڈ میں گھلنے سے روکتا ہے۔
بنیادی کارکردگی کی خصوصیات (ڈیٹا سپورٹ کے ساتھ)
(1) انتہائی-اعلی پاکیزگی، انتہائی صفائی (بنیادی فائدہ)
اعلی-درجہ حرارت گہری صاف کرنے والی ٹیکنالوجی کا استعمال کرتے ہوئے، فکسڈ کاربن کا مواد 99.99% (4N) سے زیادہ یا اس کے برابر ہے، اور پریمیم ماڈل کے لیے، یہ 99.999% (5N) تک پہنچ سکتا ہے؛ راکھ کا مواد 50 پی پی ایم سے کم یا اس کے برابر ہے، اور دھات کی نجاست (Fe، Al، Ca، Cu، وغیرہ) 1 ppm سے کم یا اس کے برابر ہے۔ اعلی-درجہ حرارت ویکیوم ماحول میں، کوئی اتار چڑھاؤ یا دھاتی بخارات کا اخراج نہیں ہوتا ہے، جو سلیکان پگھلنے اور سنگل-کرسٹل سلکان راڈ کو آلودہ نہیں کرے گا، جس سے سلیکون ویفر کی مائنارٹی کیریئر لائف ٹائم اور فوٹو الیکٹرک تبادلوں کی کارکردگی کو یقینی بنایا جائے گا، اور فوٹو پورٹی کی ضرورت کو پورا کرنا{1} سیمی کنڈکٹرز
(2) Isostatic دبانے، isotropic، مستحکم ڈھانچہ
کولڈ آئسوسٹیٹک تھری-ڈمینشنل پریس مولڈنگ، یکساں مواد کی کثافت کے ساتھ اور کوئی سمت بندی نہیں، حجم کی کثافت 1.85~1.95 g/cm³ ہے۔ مکینیکل اور تھرمل خصوصیات تمام سمتوں میں یکساں ہیں، اور یہ درست حد کے طول و عرض کو برقرار رکھتے ہوئے، طویل-مدت اعلی-درجہ حرارت سائیکلنگ کے تحت خراب، خراب یا شگاف نہیں ہوتا ہے۔
(3) انتہائی اعلی-درجہ حرارت کی مزاحمت، بہترین تھرمل استحکام اور تھرمل جھٹکا مزاحمت
آرگن کے ویکیوم / انرٹ ماحول کے تحت، طویل مدتی استعمال کا درجہ حرارت 1400~1600 ڈگری ہے، اور درجہ حرارت کی حتمی مزاحمت 2200 ڈگری تک پہنچ سکتی ہے؛ تھرمل ایکسپینشن گتانک صرف 4.0~4.8×10⁻⁶/ڈگری (کمرے کا درجہ حرارت 1500 ڈگری تک) ہے، انتہائی چھوٹے تھرمل توسیع اور سنکچن کے ساتھ۔ درجہ حرارت کی متواتر تبدیلیوں اور سنگل-کرسٹل فرنس کی تیزی سے ٹھنڈک اور گرم ہونے کا سامنا کرتے ہوئے، اسے لمبے عرصے تک مستحکم طور پر استعمال کیا جا سکتا ہے، بغیر کسی شگاف یا لاتعلقی کے خطرات کے۔
ہمیں کون منتخب کرتا ہے؟
1. تکنیکی طور پر ترقی یافتہ: آزادانہ طور پر اعلی-پیوریٹی گریفائٹ کی بنیادی ٹکنالوجی میں مہارت حاصل کرنا، 4N/5N طہارت کے معیارات کو حاصل کرنا، اور کوٹنگ آزادانہ طور پر تیار اور زیادہ پائیدار ہے۔
2. مستحکم معیار: مکمل-پروسیس کوالٹی کنٹرول + بین الاقوامی سرٹیفیکیشنز، اعلی جہتی درستگی اور مستحکم اعلی-درجہ حرارت کی کارکردگی؛
3. فوری حسب ضرورت: فرنس کی تمام اقسام کے 12-28 انچ کے ساتھ مکمل طور پر ہم آہنگ، نمونے 7 دنوں کے اندر تیار کیے جا سکتے ہیں، اور بیچ کی ترسیل 15 دنوں کے اندر مکمل کی جا سکتی ہے۔
4. لاگت-مؤثر: عمودی سپلائی چین، قیمت درآمد شدہ مصنوعات سے 30% کم ہے، بلک آرڈرز پر رعایت کے ساتھ؛
5. بہترین سروس: دوہری-زبان کی تکنیکی مدد + موافق کسٹم کلیئرنس + 1-سال کی وارنٹی، جس کی توثیق سرکردہ صارفین کے ذریعے کی گئی ہے۔
ایک-اسٹاپ حل
پیشہ ور ٹیم
اعلی معیار
| آئٹم | عام قدر | ریمارکس |
|---|---|---|
| کاربن پیوریٹی | 99.99% (4N) سے بڑا یا اس کے برابر / 99.999% (5N) سے بڑا یا اس کے برابر | کل نجاست 100 پی پی ایم (4N) سے کم یا اس کے برابر؛ 10 پی پی ایم (5N) سے کم یا اس کے برابر |
| بلک کثافت | 1.85–1.95 گرام/cm³ | کولڈ آئسوسٹیٹک دبایا گیا، باریک اناج اور آئسوٹروپک |
| لچکدار طاقت | 45 MPa سے زیادہ یا اس کے برابر | کمپریشن طاقت 80 MPa سے زیادہ یا اس کے برابر ہے۔ |
| راکھ کا مواد | 50 پی پی ایم سے کم یا اس کے برابر | اعلی-درجہ حرارت صاف کرنے پر کارروائی کی گئی۔ |
| CTE (RT ~ 1500 ڈگری) | 4.0–4.8×10⁻⁶ / ڈگری | اچھی جہتی استحکام اور تھرمل جھٹکا مزاحمت |
| تھرمل چالکتا | 120–150 W/(m·K) | گرمی کی یکساں تقسیم |
| مزاحمتی صلاحیت | 8–15 μΩ·m | یہاں تک کہ برقی چالکتا بھی |
| مسلسل کام کرنے کا درجہ۔ | 1400~1600 ڈگری (ویکیوم/آر) | غیر فعال ماحول کے تحت زیادہ سے زیادہ 2200 ڈگری |
| زیادہ سے زیادہ درجہ حرارت ہوا میں | 450 ڈگری سے کم یا اس کے برابر (غیر کوٹڈ) | SiC کوٹنگ کے ساتھ 1800 ڈگری تک |
| اناج کا سائز | 10 μm سے کم یا اس کے برابر | اعلی صحت سے متعلق مشینی کے لئے گھنے ڈھانچہ |
| اختیاری کوٹنگ | SiC / PYC (پائرولائٹک کاربن) | اینٹی-سلیکون دراندازی، طویل خدمت زندگی |
ڈاؤن لوڈ، اتارنا ٹیگ: cz سنگل کرسٹل فرنس کے لیے ہائی پیوریٹی آئسوسٹیٹک گریفائٹ گائیڈ کی انگوٹی، cz سنگل کرسٹل فرنس مینوفیکچررز، سپلائرز، فیکٹری کے لیے چین ہائی پیوریٹی آئسوسٹیٹک گریفائٹ گائیڈ رنگ
