پتلی فلم کا ذخیرہ سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں سب سے اہم مراحل میں سے ایک ہے، جہاں جدید مربوط سرکٹس کے پیچیدہ تہوں والے ڈھانچے کی تعمیر کے لیے کنڈکٹو، موصل اور سیمی کنڈکٹنگ مواد کی انتہائی پتلی تہوں کو سلکان ویفرز پر جمع کیا جاتا ہے۔ ان جمع کرنے کے عمل کے مرکز میں-بشمول کیمیائی بخارات جمع کرنا (CVD)، جسمانی بخارات جمع کرنا (PVD)، اور epitaxial گروتھ-گریفائٹ سسپٹرز اور لیپت گریفائٹ اجزاء ہیں جو غیر معمولی درستگی اور پاکیزگی کے ساتھ ویفرز کو پکڑتے، گرم کرتے اور سپورٹ کرتے ہیں۔ اعلی درجے کے سیمی کنڈکٹر آلات کے لیے درکار یکساں، خرابی سے پاک پتلی فلموں کو حاصل کرنے کے لیے یہ انتہائی انجینئرڈ گریفائٹ پرزے ضروری ہیں۔
عالمی سیمی کنڈکٹر گریفائٹ مارکیٹ کے اندر، پتلی فلم جمع کرنے والی ایپلی کیشنز کل آمدنی کا 25.6 فیصد بنتی ہیں، جس کی قیمت PW کنسلٹنگ کے مطابق 2025 میں USD 429.54 ملین تھی۔ یہ جمع کو کرسٹل کی نمو کے بعد دوسرا سب سے بڑا سیمی کنڈکٹر گریفائٹ سیگمنٹ بناتا ہے، اور چپ بنانے والے اعلی درجے کے 3D ڈیوائس آرکیٹیکچرز کے لیے مزید جمع کرنے والی تہوں کو شامل کرتے ہوئے تیزی سے بڑھنے والے-سگمنٹ میں سے ایک ہے۔ سیمی کنڈکٹر-گریڈ لیپت گریفائٹ اجزاء کی مارکیٹ خاص طور پر 2030 کی دہائی کے اوائل تک 7.8% CAGR سے بڑھنے کا امکان ہے، جس سے سیمی کنڈکٹر گریفائٹ کی مجموعی ترقی کو پیچھے چھوڑ دیا جائے گا کیونکہ مزید پراسیس اجزاء کی زندگی کو بڑھانے اور عمل کی کارکردگی کو بہتر بنانے کے لیے جدید کوٹنگ ٹیکنالوجیز کو اپناتے ہیں۔
گریفائٹ سسپٹرز ڈیپوزیشن چیمبرز کے اندر پریسجن ویفر کیریئرز اور ہیٹنگ پلیٹ فارم کے طور پر کام کرتے ہیں۔ پروسیسنگ کے دوران، wafers susceptor پر آرام کرتے ہیں، جسے جمع کرنے کے عمل کے لحاظ سے چند سو ڈگری سیلسیس سے لے کر 1,000 ڈگری تک کے عین مطابق درجہ حرارت پر مزاحمتی یا آمادہ طور پر گرم کیا جاتا ہے۔ سسپٹر کو ویفر کو اس کی پوری سطح پر یکساں طور پر گرم کرنا چاہیے تاکہ ویفر کے مرکز سے کنارے تک فلم کی موٹائی اور مادی خصوصیات کو یقینی بنایا جا سکے۔ یہاں تک کہ صرف چند ڈگریوں کے درجہ حرارت کے تغیرات بھی فلم کی موٹائی، شیٹ کی مزاحمت، یا مواد کی ساخت میں ناقابل قبول تغیرات کا سبب بن سکتے ہیں، جس سے آلے کی پیداوار اور کارکردگی میں کمی واقع ہو سکتی ہے۔
ننگی گریفائٹ شاذ و نادر ہی براہ راست جمع کرنے کے عمل میں استعمال ہوتا ہے۔ اس کے بجائے، susceptors اور دیگر چیمبر کے اجزاء کو عام طور پر سلکان کاربائیڈ (SiC) یا دیگر مخصوص کوٹنگز کی ایک پتلی تہہ کے ساتھ لیپت کیا جاتا ہے۔ یہ ملمع کاری متعدد اہم مقاصد کو پورا کرتی ہیں: یہ گریفائٹ سبسٹریٹ کے کٹاؤ سے ذرات کی پیداوار کو روکتی ہیں، یہ ویفر اور جمع شدہ فلموں کی کاربن آلودگی کو ختم کرتی ہیں، اور یہ ایک سخت، پائیدار سطح فراہم کرتی ہیں جو بار بار ویفر لوڈنگ اور ان لوڈنگ سائیکلوں کو برداشت کرتی ہے۔ SiC-کوٹیڈ گریفائٹ بہترین تھرمل چالکتا اور گریفائٹ کے ہلکے وزن کو انتہائی سختی، کیمیائی جڑت، اور سلکان کاربائیڈ کی پاکیزگی کے ساتھ جوڑتا ہے، ایک ایسا مرکب جزو بناتا ہے جو خالص سلکان کاربائیڈ یا کوارٹز جیسے متبادل کو بہتر بناتا ہے۔
susceptors کے علاوہ، گریفائٹ متعدد دیگر جمع کرنے والے چیمبر کے اجزاء کے لیے استعمال کیا جاتا ہے جس میں یکساں پیشگی گیس کی تقسیم کے لیے شاور ہیڈز، چیمبر لائنرز، ہیٹ شیلڈز، الیکٹروڈ اسمبلیاں، اور فوکس رِنگز شامل ہیں۔ ہر جزو گریفائٹ کے تھرمل استحکام، برقی چالکتا، اور مشینی صلاحیت کے انوکھے امتزاج سے فائدہ اٹھاتا ہے، جسے عام طور پر مخصوص عمل کیمسٹری کے مطابق خصوصی کوٹنگز کے ساتھ بڑھایا جاتا ہے۔ ایپیٹیکسیل سلکان ڈیپوزیشن (ای پی آئی) ری ایکٹرز میں، مثال کے طور پر، اعلی-پیوریٹی SiC کوٹنگز کے ساتھ گریفائٹ سسیپٹرز انڈسٹری کا معیار ہیں، جو 1,000 ڈگری سے زیادہ درجہ حرارت پر سنگل-کرسٹل سلکان کی تہوں کی درست، یکساں ترقی کو قابل بناتا ہے۔ PVD سپٹرنگ سسٹمز میں، گریفائٹ ٹارگٹس اور بیکنگ پلیٹس کاربن پر مبنی پتلی فلموں کو جمع کرنے کے لیے استعمال کیے جاتے ہیں۔
گریڈ گریفائٹ اجزاء کو جمع کرنے کے لیے تکنیکی تقاضے-انتہائی متقاضی ہیں۔ دھاتی آلودگی کو روکنے کے لیے بیس گریفائٹ مواد میں 5ppm سے کم راکھ کے مواد کے ساتھ غیر معمولی پاکیزگی ہونی چاہیے۔ اس میں یکساں کثافت اور تھرمل چالکتا بھی ہونی چاہیے تاکہ پورے ویفر قطر میں حرارتی کارکردگی کو یقینی بنایا جا سکے۔ لیپت شدہ اجزاء کے لیے، کوٹنگ بالکل یکساں ہونی چاہیے، پن ہولز اور نقائص سے پاک، اور تھرمل سائیکلنگ کے دوران ڈیلامینیشن کو روکنے کے لیے گریفائٹ سبسٹریٹ کے ساتھ مضبوط چپکنے والی ہونی چاہیے۔ اور جہتی رواداری کو مائیکرون میں ماپا جاتا ہے، کیونکہ ہلکی سی وارپنگ یا جہتی تبدیلی بھی ویفر کے چپٹے پن اور جمع ہونے کی یکسانیت کو متاثر کرے گی۔
Huixian Jincheng رگڑنے اور گریفائٹ مولڈ فیکٹری40 سال سے زیادہ درست گریفائٹ مینوفیکچرنگ کے تجربے کو پیش کرتے ہوئے صوبہ ہینان کے Huixian شہر میں اپنی سہولت سے اعلی-معیار کے گریفائٹ سسپٹر بلینکس اور سیمی کنڈکٹر آلات کی سپلائی چین کے لیے غیر کوٹیڈ ڈیپوزیشن چیمبر کے اجزاء تیار کرتے ہیں۔ 1984 میں قائم ہونے والی، کمپنی نے سیمی کنڈکٹر انڈسٹری کی خدمت کے لیے اپنی صلاحیتوں کو مستقل طور پر بڑھایا ہے، اعلی-پیوریٹی گریفائٹ پروسیسنگ اور درست CNC مشینی میں اپنی بنیادی مہارت کو بڑھایا ہے۔
جنچینگ گریفائٹ ان کی یکساں کثافت، اعلی تھرمل چالکتا، اور کم ناپاک مواد کے لیے منتخب کردہ پریمیم آئیسوسٹیٹک گریفائٹ مواد سے ڈیپوزیشن-گریڈ گریفائٹ اجزاء تیار کرتا ہے۔ کمپنی سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ ماحول کے لیے موزوں سطحوں پر راکھ کے مواد کو کم کرنے کے لیے اعلی درجے کے اعلی-درجہ حرارت کو صاف کرنے کے علاج کا اطلاق کرتی ہے۔ 50 سے زیادہ CNC مشینی مراکز اور 1,000 ملی میٹر کے زیادہ سے زیادہ پروسیسنگ کے طول و عرض کے ساتھ، جنچینگ گریفائٹ 200 ملی میٹر اور 300 ملی میٹر ویفر پروسیسنگ سسٹمز، مشینی پیچیدہ جیومیٹریز اور ہوپین کی خصوصیات سمیت سسپٹر بلینکس، چیمبر لائنرز، شاور ہیڈ بیسز، اور دیگر جمع کرنے والے اجزاء کو تیار کر سکتا ہے۔ سخت جہتی رواداری کے لیے۔
کمپنی کے متعدد ویکیوم امپریگنیشن سائیکل گریفائٹ کثافت اور قریبی سطح کی پورسٹی کو بڑھاتے ہیں، بعد میں کوٹنگ کے عمل کے لیے ایک بہتر سبسٹریٹ بناتے ہیں اور تیار شدہ کوٹیڈ اجزاء کے مجموعی معیار اور استحکام کو بہتر بناتے ہیں۔ درست سطح کی لیپنگ اور پالشنگ انتہائی فلیٹ، ہموار سطحوں کو کم سے کم سطح کے نقصان کے ساتھ حاصل کرتی ہے، جو یکساں کوٹنگ کے چپکنے کو یقینی بنانے اور کوٹنگ کے نقائص کو روکنے کے لیے اہم ہے۔ جنچینگ گریفائٹ مخصوص کوٹنگ پارٹنرز اور سیمی کنڈکٹر آلات کے مینوفیکچررز کے ساتھ مل کر کام کرتا ہے تاکہ مخصوص جمع کرنے کے عمل اور کوٹنگ ٹیکنالوجیز کے لیے سبسٹریٹ ڈیزائن اور مادی خصوصیات کو بہتر بنایا جا سکے۔
جامع کوالٹی کنٹرول اس بات کو یقینی بناتا ہے کہ ہر گریفائٹ جزو سیمی کنڈکٹر جمع کرنے کی ایپلی کیشنز کے لیے درکار معیارات پر پورا اترتا ہے۔ معائنہ میں کوآرڈینیٹ میجرنگ مشین (سی ایم ایم) کی جہتی تصدیق، چپٹا پن کی جانچ، سطح کی کھردری پیمائش، کثافت کی نقشہ سازی، اور ناپاکی کا تجزیہ شامل ہے۔ یہ سخت کوالٹی اشورینس ڈاؤن اسٹریم کوٹنگ پارٹنرز اور سیمی کنڈکٹر مینوفیکچررز کو جنچینگ گریفائٹ کی مصنوعات کی مستقل مزاجی اور بھروسے پر اعتماد فراہم کرتی ہے۔
آگے دیکھتے ہوئے، اعلیٰ-کارکردگی والے گریفائٹ جمع کرنے والے اجزاء کی مانگ کئی طاقتور صنعتی رجحانات کی وجہ سے جاری رہے گی۔ سیمک کنڈکٹر ڈیوائسز کی جاری مائنیچرائزیشن اور 3D آرکیٹیکچرز میں تبدیلی کے لیے سخت یکسانیت کے تقاضوں کے ساتھ مزید جمع کرنے کے اقدامات کی ضرورت ہوتی ہے، جس سے گریفائٹ سسیپٹرز اور چیمبر کے اجزاء کی تکنیکی تقاضوں اور قدر دونوں میں اضافہ ہوتا ہے۔ تمام بڑے خطوں میں نئے سیمی کنڈکٹر فیبس کی عالمی تعمیر ہر قسم کے جمع کرنے والے آلات اور ان سے منسلک گریفائٹ استعمال کی اشیا کی مطلق مانگ کو بڑھا رہی ہے۔ اور اگلی-جنریشن SiC فارمولیشنز اور نئے سرامک مواد سمیت کوٹنگ ٹیکنالوجیز کو مزید جارحانہ عمل کی شرائط کو فعال کرتے ہوئے اجزاء کی سروس کی زندگی کو بڑھا رہی ہیں۔
جنچینگ گریفائٹ جیسے گریفائٹ مینوفیکچررز کے لیے، جمع کرنے والے سامان کی سپلائی چین مضبوط ترقی کے بنیادی اصولوں کے ساتھ ایک اعلی-قدر، ٹیکنالوجی-پر مبنی مارکیٹ کے حصے کی نمائندگی کرتی ہے۔ جبکہ مکمل لیپت اجزاء کی پیداوار کے لیے کوٹنگ کی خصوصی صلاحیتوں کی ضرورت ہوتی ہے، اعلی-معیار گریفائٹ سبسٹریٹ مینوفیکچرنگ بذات خود تکنیکی طور پر ایک قابل تقلید اور قیمتی مقام ہے۔ چونکہ چین کی سیمی کنڈکٹر سازوسامان کی صنعت اپنی سپلائی چین کو آگے بڑھا رہی ہے اور گھریلو گریفائٹ ماہرین جیسا کہ جنچینگ گریفائٹ درست اور پاکیزگی کی صلاحیتوں کے ساتھ جمع کرنے کی ایپلی کیشنز کو پیش کرنے کے لیے اس اہم اعلی-ٹیک سیکٹر میں بڑھتے ہوئے مارکیٹ شیئر کو حاصل کرنے کے لیے اچھی پوزیشن میں ہیں۔
